某半导体IC芯片IC芯片研制厂在晶圆生产具体步骤中,选择硅烷来硅外加滋生,废气洗滌塔行成高含铁含硅污废液 。污废液 还具有pH跌涨大(2-11)、硅含铁高的特性,民俗治理 做法易出来硅垢赌塞状况。
化工废水材质及收入
污水包括材质为:
充分均匀溶解性硅酸盐
:SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L
磷酸/氢防氧化钠
:洗衣剂塔酸碱度洗衣剂液残余的
小粒硅
:微米级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:原辅料不溶物融入
治理 新工艺流量
科技创新选取"多级与+膜过滤系统+化掉沉淀"加工制作工艺 :
五级中合
:用CaO调控pH至4-5,转换硅酸钙乳浊液,硅清理率60%。
一级与
:加Na₂CO₃将pH增加至9,进一步的一个脚印沉积余量硅,串并联用镁剂除砷。
超滤膜系統
:0.02μm陶瓷图片膜过滤清洁纳米技术级硅顆粒,通量不稳在80LMH。
MVR挥发器
:浓缩液高盐焦化废水,晶粒出Na₂SO₄副物品,水回收率超90%。
最终能够疗效
总硅从1500mg/L下降5mg/L低于
砷含氧量从0.8mg/L降为0.01mg/L
设计无积灰使用小于2年
去年利用盐酸钠结晶体约800吨