该厂为84英寸晶圆生产的线一体化的超超纯水软件，每天都在会产生含硅废水处置的工艺150吨。废水处置的工艺中虽无血本属，但硅的含量高易积垢，且阻值率需可达18MΩ·cm就可以造纸废水处置。多余处置的工艺就没有办法充分考虑新颁布实施的《电子元器件产业水感染物摆放原则》（GB39731-2020）有点摆放卫生防护距离。 废水处理化学成分特色 通常生态破坏物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、颗料硅（孔径0.1-1μm） 特定追求 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 水污染的特点 ：低导电率（<50μS/cm）但硅氧化物性状非常复杂 处里加工流程步骤 去创新选择"梯级膜分離+电去正离子"结合加工： 微滤预工作 ：1μm瓷质膜阻止大科粒硅，通量维系80LMH 阳离子互相交换光敏树脂 ：D201大孔树脂胶选取性吸咐硅酸分子式 三级RO系统 ：第一名段回收并率60%，其次段进行高脱硼膜器件 EDI电去正离子 ：功率黏度2A/m²，持续性弄掉残存铁离子 紫外线除臭 ：254nm红外光谱线用药量40mJ/cm² 技能难点 设计规划专用工具阻硅剂（可挥发胺类软型物），延迟膜被污染的过渡期3倍 EDI方案信息化流道方案，硅清除率大幅提升至99.8% 在线播放硅浅析仪（自动测量标准0.1-500μg/L）满足识贫调控 行驶功效 经其三方协议的检测： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼分子量从8μg/L高于0.3μg/L 体统回收并率从原40%提高了至68% 膜替换时间是增长至5年，年加载成本费用大大减少35%