该装修案例来源西北地段的一家大型的半导体设备制造厂中小型客户,主要的分娩整合电线IC芯片。在分娩的过程 中,晶圆的清洗、蚀刻等程序需选用广泛智能级磷酸(色度≥85%),进而产生了高溶液浓度含磷工业废水。中小型客户本来的加工处理体系就没有办法需求愈发要从严的污染物标准单位(TP≤0.5mg/L),继续购买专用汽车更新升级工程建筑。
废液材料及因素
废渣包括缘于于多个缓解:晶圆洗掉废渣(占总的水量60%)、设施设备清洗道路废渣(30%)及及地清洗道路废渣(10%)。水源特性表现形式为:pH值1.5-2.5,总磷氨水浓度800-1200mg/L,氟亚铁离子含碳量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并内含进样器血本属(铜、锌等)。
治理生产技术环节
创业项目进行"预加工+无机化学沉淀出的+高级工程师氧化反应+的深度过滤水"的女子组合加工过程:
调节器池
:平衡水质检测用水量,设在pH在线上探测系統
1级反馈池
:加药系统生石灰乳自动调节pH至8.5-9.0,演变成Ca3(PO4)2沉淀物
两级反應池
:使用PAC和PAM进阶水解酸化池效用
斜板积累池
:达成固液离心分离,废水走进烘干模式
Fenton氧化反应第一单元
:H2O2与Fe²⁺一体化的作用可降解有机酸物
多导电介质净化器
:石英石砂+抗逆性炭搭档过滤装置,加强组织领导满水后澄澈
正离子交流整体
:进这一步弄掉稳定度废金属化合物
既定体验
软件系统程序程序运行固定后,出液生活饮用水:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,哪项的指标好于《电子元器件实业水废弃物物减排出的标准》(GB 39731-2020)。一年削减磷减排出约15吨,厌氧颗粒污泥引发量较常用流程调低40%,程序程序运行投资成本操纵在8.3元/吨水。