半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
工程项目蓝本
该流通业园众多了十余家半导体器件有关于中小型机构,设计日办理技能5000吨,都要办理存在各个中小型机构的混合型喂养焦化生活污水。是由于各中小型机构生孩子工艺设备对比分析大,焦化生活污水化学物质很复杂变幻莫测,办理一定难度较高。
废水处理方法基本成分及源于
废污水具体还包含3大类:高氧氨水浓度生物碳的废污水(光刻胶、显影液液等)、含氟废污水(刻蚀步骤)和碱酸废污水(家电清洗步骤)。特殊化基本成分还包含异丙醇、四甲基氢阳极氧化铵等难分解生物碳的物,并且氟化物、高锰酸盐指数等硅化物破坏物。废污水COD下降大(500-3000mg/L),氟化物氧氨水浓度100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
治理 加工过程流程步骤
应用"分类管理收藏+分质加工除理+集结广度加工除理"的去创新方法:
商家内外细分预补救:含氟污废水 直接自身并预补救
园区规划污水管道各类输料系統
终合可以调节池均等化水体质量
多级混疑石雕文化沉淀清掉悬停物和电解质溶液
高质量生物体反映器(HBR)外理巧妙影响物
嗅氧崔化阳极氧化降解塑料难分析无机物
反固化设计采取脱盐整理
红外光谱线清洁加强组织领导出水量健康
有点设施了线下数据监测体系化和智能投药体系化,预防水的硬度下降。
结果是成效
体系开机运行三年期来,外理效果好相对稳定靠谱。有水出COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,达成河流Ⅳ类标准的,区域中水工业废水处理于工业区做绿化及放凉塔保湿,中水工业废水处理率已超30%。每次缩短优质水实用约五十万吨,为工业区企业主节俭水电费数百人万块人民币。