半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
的项目游戏 背景
该品牌的为亚洲中南部先进的半导体技术首测品牌的,坐落在珠三边形中南部,主耍确定顶级电子器件的片区和芯片封装测试方法。由本地人健康特殊要求认真,品牌的绝对执行工业废水零摆放建设工程。工程于明年启动时,2025年6月起建建厂,净化处理经营规模为200吨/日,总投資约2000余万元。
电镀废水的成分及來源
这项目标片区废水处理拥有下特征 :
高渗透压氟化物,包括基晶圆打磨后的进行维护清洁步骤,氟正离子渗透压敢达150-200mg/L
包含nm级硅粉颗粒状,颗粒直径多在100-500nm左右
有机的短路电流较高,COD在500-800mg/L
内含氢化物发生器高价属如铅、镉等
纯水电导率高,基本上在2000-3000μS/cm
正确处理鑫霖环保环节
为实行无废气排放口阶段目标,工艺流程设汁重要遵循污废水 划分类别征集和材料再利用:
废气分为获得系统软件
:将含氟电镀废水处理方法与许多电镀废水处理方法分着搜集
化学式沉淀出的除氟
:运用两极钙盐乳浊液法,搭配高效性乳浊液池
高等氧化反应处置
:嗅氧崔化氧化物降解塑料难外理可挥发物
膜果汁整体
:选取DTRO碟管式反融入,精炼因数为10倍
蒸馏晶粒
:MVR机器液体再缩短空调冷凝器器治疗浓水
缺水程序
:将析出盐粗糙后成为工艺副新产品外售
正确处理郊果
系统软件运营数据表格表示:
氟化物去掉率>99.9%,有水出氟亚铁离子<1mg/L
COD总洗去率>98%,水流COD<20mg/L
水的资源回收处理率>95%,仅产生了少许晶体盐
每一年的可降解公司高高品位回收水约七万吨
结晶体盐溶解度确保企业级要求,确保信息化巧用
項目不止保证了废水处理方法零排污,还用信息收购创作了约80万美元/年的超额投资收益。